宙讯微电子推出AlN/AlScN压电薄膜工艺模块

在5G通信、智能传感、医疗影像等前沿技术加速迭代的今天，MEMS芯片的性能正决定着智能设备的体验边界。作为压电MEMS领域的领军者，南京宙讯微电子科技有限公司正式推出氮化铝（AlN）与掺钪氮化铝（AlScN）压电薄膜工艺模块，为高端压电器件的研发与量产提供一站式技术底座。

🧬 双技术路线并行：为不同应用场景定制“压电芯”

压电薄膜是MEMS器件的“心脏”，不同应用场景对压电材料的性能要求截然不同。宙讯微电子采用双技术路线并行的策略，为客户提供灵活的材料选择方案。

AlN工艺模块——稳定可靠的量产基石

纯AlN薄膜凭借CMOS兼容性、低声学损耗和良好热稳定性，在MEMS领域应用广泛。宙讯在AlN工艺上深耕多年，该模块经大规模量产验证，能够在6英寸晶圆上实现高一致性薄膜沉积，为声学传感器、射频滤波器、超声波换能器等器件提供坚实保障。

AlScN工艺模块——性能跃升的突破引擎

掺钪氮化铝（AlScN）是宙讯微电子的核心技术之一。通过在AlN中精确掺入钪元素，材料的压电性能实现跨越式提升。与传统AlN相比，AlScN薄膜的压电响应显著增强，在相同驱动力下可实现功耗的大幅降低。这一突破使得器件能够在更小尺寸下获得更宽的工作带宽与更高的灵敏度，为高性能超声成像、高精度惯性传感器、低功耗射频滤波器等前沿应用开辟了全新可能。

双工艺模块并行，使宙讯能够根据客户器件的具体工作频率、带宽需求和制造成本，灵活推荐最合适的压电材料方案。

- 压电MEMS工艺平台 -

来源：宙讯微电子

为促进产业链上下游合作，推动技术创新与应用拓展，艾邦建有压电陶瓷产业链微信交流群，欢迎产业链上下游企业加入，长按下方二维码即可加入：

拟定议题：

压电陶瓷产业论坛（2026年8月28日 10:00-12:00）
序号	拟定议题	拟邀嘉宾
1	高性能压电陶瓷材料研发进展	中科院赣江创新研究所与物理研究所
2	压电陶瓷在消费电子上的应用（拟）	歌尔股份
3	压电陶瓷在半导体设备上的应用	哈尔滨工业大学（深圳）
4	压电陶瓷在超声波探测中的应用	西安工业大学
5	压电陶瓷高动态精密驱动控制技术研究介绍	苏州大学
6	压电陶瓷纳米技术在半导体领域中的突破	压电陶瓷企业
7	赋予机器人“敏锐触觉”：基于压电陶瓷的传感与交互技术	压电陶瓷企业
8	无铅压电陶瓷材料的发展现状及路径	压电陶瓷企业/高校
9	全球压电陶瓷市场规模与区域竞争格局分析	压电陶瓷企业/高校
11	基于压电陶瓷的无损检测/医疗超声技术	压电陶瓷企业/高校
12	物联网时代压电陶瓷传感器的机遇与挑战	压电陶瓷企业/高校

更多创新演讲意向请联系：李小姐 18823755657（同微信）

报名方式1 : 请添加微信并发名片报名

李小姐：18823755657（同微信）

邮箱：lirongrong@aibang.com

扫码添加微信，咨询展会详情

报名方式 2 : 长按二维码扫码在线登记报名

或复制网址到浏览器后，微信注册报名：

https://www.aibang360.com/m/100311